STK (Stocker)
自動化倉儲設備,用于半導體各個制程中產品FOUP暫時存儲。其構成主要有臺車、NPS、軌道、Control Unit、Port、Booth;其中臺車由Traveling/Hoist/Turning/Forking四個單元組成。
系統特點
自由架可擴展
非接觸式供電系統
循環時間 = 14秒(3.2 mL × 3.4 mH)
清潔程度第1級/第10級(附 FFU)
利用全架學習提高遷移穩定性
行走驅動方法: 摩擦輪和 LM 導軌